近年來我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，半導(dǎo)體芯片行業(yè)使用大量研磨液進(jìn)行芯片打磨拋光，產(chǎn)生各種研磨液廢水，但隨著民眾環(huán)保意識和環(huán)保要求的提高，環(huán)境污染也日益受到人們的關(guān)注?，F(xiàn)有的研磨廢水一般需要進(jìn)行處理，達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)后才能排放，現(xiàn)有的處理工藝一般采用=絮凝沉淀、電絮凝、高pH膜過濾等的處理工藝。添加聚合氯化鋁PAC絮凝劑為常用的絮凝方式，但是由于研磨液呈現(xiàn)強穩(wěn)定性需要投加大量的聚合氯化鋁絮凝劑才能起到絮凝作用，這無疑增加了企業(yè)的投入成本，而且，投加的聚合氯化鋁絮凝劑量大，產(chǎn)生的污泥量也隨著增加，使得后續(xù)污泥處理的難度也隨之增大。

    聚合氯化鋁PAC的應(yīng)用：

    聚合氯化鋁緩慢加入溶解在輪回水體積中的聚氯化鋁的攪拌釜中，并連續(xù)攪拌該混合物，形成5的聚合氯化鋁PAC溶液，打開液體排出閥以氯化制備的聚合物。鋁溶液進(jìn)入溶液罐以用于處理系統(tǒng)，并且一組兩組溶液罐用于一組。

    該工藝采用管式微渦管混合器作為混合裝置，在輸送泵前加入聚合氯化鋁溶液，在輸送泵后加入PAM溶液，湍流微渦和離心慣性效應(yīng)用于實現(xiàn)廢水中的水解產(chǎn)物。廢水中形成的膠體顆粒的完全擴散實現(xiàn)了更好的不不亂性。根據(jù)污水的絮凝沉淀系統(tǒng)的出水水質(zhì)調(diào)整劑量。通常，控制每立方米添加5-10L聚氯化鋁溶液。

    聚合氯化鋁PAC預(yù)處理方法：

    預(yù)處理原水首先加入次氯酸鈉和聚合氯化鋁PAC，降低渾濁度，去除懸浮物和膠體等雜質(zhì)，經(jīng)錳砂過濾器進(jìn)一步去除懸浮物和固體顆粒；UF超濾過濾精度在0.005～0.01μm范圍內(nèi)，可有效去除水中的微粒、膠體、細(xì)菌墊層及高分子有機物質(zhì)；一級RO處理后產(chǎn)水電導(dǎo)率＜10～20μs/cm，二級RO處理后可制備產(chǎn)水電導(dǎo)率＜5μs/cm的RO水；RO處理后通過EDI設(shè)備混合床離子交換可制備純水；通過UV185nm將水中透過反滲透膜的少量有機物分解成CO2和H2O可去除TOC，再經(jīng)混合床離子交換、膜滲透制備超純水，超純水使用后通過UPW循環(huán)系統(tǒng)回用到原水箱。